SEM掃描電鏡參數(shù)的調(diào)整

　　為什么要調(diào)整SEM掃描電鏡參數(shù)?首先，優(yōu)化圖像質(zhì)量，通過調(diào)整參數(shù)，可以獲得更清晰、更詳細(xì)的圖像。其次，適應(yīng)樣本特性，不同的樣本可能需要不同的參數(shù)設(shè)置。第三，提高分辨率，以更好地分辨樣本的微觀結(jié)構(gòu)。第四，控制電子束強(qiáng)度，避免對(duì)樣本造成過度損傷。第五，調(diào)整襯度，增強(qiáng)圖像的襯度，便于觀察。第六，優(yōu)化景深使整個(gè)樣本都能清晰成像。第七，適應(yīng)不同的放大倍數(shù)，確保在不同放大倍數(shù)下都能獲得良好的圖像。

蔡司掃描電鏡

　　1.1 加速電壓

　　理論上，加速電壓的增加將使SEM圖像中的信號(hào)更多、噪聲更低。但實(shí)際情況并非如此簡(jiǎn)單。高加速電壓成像有一些缺點(diǎn): 1. 高加速電壓可穿透較厚的樣品，但在SE模式下，對(duì)樣品表面結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)的分辨能力降低，低加速電壓則適用于表面成像;2絕緣樣品中的電子堆積增加，造成更嚴(yán)重的充電效應(yīng);3 在樣品中傳導(dǎo)的熱量會(huì)增加，可能導(dǎo)致樣品損傷，尤其是對(duì)熱敏感的材料。

　　加速電壓越高，電子束穿透力越強(qiáng)，相互作用體積越大，背散射電子(BSE)的數(shù)量也會(huì)增加。對(duì)于典型電壓(如15KV)下的二次電子(SE)成像，BSE會(huì)進(jìn)入二次電子探測(cè)器，并降低分辨率，因?yàn)樗鼈儊碜詷悠返母�深處�?/p>

　　加速電壓是燈絲和陽(yáng)極之間的電壓差，主要用于加速電子束向陽(yáng)極移動(dòng)。典型SEM的加速電壓范圍為1KV至30KV。電壓越高，電子束穿透樣品的能力就越強(qiáng)。

　　下表中提供了選擇加速電壓的一般操作指南。當(dāng)然，不同的電鏡設(shè)備，即使參數(shù)相同，成像效果也會(huì)有差異，要確定樣品成像的最佳設(shè)置，需要進(jìn)行實(shí)踐操作。

　　1.2 光闌

　　光闌是金屬條上的一個(gè)小孔，它被放置在電子束的路徑上，以限制電子沿鏡筒向下運(yùn)動(dòng)。光闌可阻止偏離軸線或能量不足的電子沿柱子向下運(yùn)動(dòng)。根據(jù)所選光闌的大小，它還可以縮小光闌下方的電子束。

　　物鏡 (OL) 光闌：該光闌用于減少或排除外來(散射)電子。操作員應(yīng)選擇最佳的光闌，以獲得高分辨率的SE圖像。

　　物鏡光闌安裝在SEM物鏡的上方，是一根金屬桿，用于固定一塊含有四個(gè)孔的金屬薄板。在它上面裝有一個(gè)更薄的矩形金屬板，上面有不同大小的孔(光闌)。通過前后移動(dòng)機(jī)械臂，可以將不同大小的孔放入光束路徑中。這都限于老式掃描電鏡，現(xiàn)代電鏡通過靜電偏轉(zhuǎn)到想要的孔，不是機(jī)械移動(dòng)。

　　大光闌可用于低倍成像以增加信號(hào)，也可用BSE成像和EDS分析工作。小光闌用于高分辨率工作和更好的景深，但缺點(diǎn)是到達(dá)樣品的電子較少，因此圖像亮度和信噪比較低。

　　下表列出了一些光闌大小和實(shí)際用途的例子。不同光闌可使用數(shù)字刻度。例如，可以使用1、2、3和4。根據(jù)儀器的不同，可以用最大的數(shù)字表示最大的光闌直徑，也可以用最大的數(shù)字表示最小的光闌。

　　在SEM設(shè)備校準(zhǔn)過程中，為了生成良好的圖像，需要檢查光闌，以確保其圍繞光束軸居中，這可以通過使用晃動(dòng)(Wobbler)控制來實(shí)現(xiàn)。如果發(fā)現(xiàn)圖像左右移動(dòng)，則需要在 X 或 Y方向(進(jìn)出或左右移動(dòng))調(diào)整光闌，調(diào)整時(shí)只需微微旋轉(zhuǎn)相應(yīng)的旋鈕，直到圖像停止移動(dòng)為止。當(dāng)電子束直徑在樣品表面達(dá)到最小值時(shí)，聚焦效果最佳。圖像應(yīng)清晰明確。

　　1.3 束斑尺寸

　　電子束錐在樣品表面形成的束斑大小(橫截面直徑)會(huì)影響：1)圖像的分辨率;2)產(chǎn)生的電子數(shù)量，從而影響圖像的信噪比和清晰度。在低倍放大時(shí)，我們使用的束斑尺寸要比高倍放大時(shí)大。

　　當(dāng)在相同的放大倍率、電壓和工作距離下使用不同的束斑尺寸拍攝圖像時(shí)，很容易看出不同系列圖像在模糊度(分辨率)上的差異。表達(dá)束斑大小的方式取決于所用電鏡的廠家和型號(hào)。

　　對(duì)于任何一個(gè)放大倍率，停留點(diǎn)(圖中一行中的光點(diǎn))的數(shù)量都是恒定的，因此束斑點(diǎn)尺寸太小會(huì)導(dǎo)致沒有信號(hào)產(chǎn)生的間隙，束斑尺寸太大會(huì)導(dǎo)致信號(hào)重疊和平均。

　　束斑尺寸會(huì)隨著一些參數(shù)的改變而改變。例如，長(zhǎng)工作距離(WD)下的束斑尺寸比短WD的大。物鏡光闌越小，束斑尺寸越小。此外，無論使用哪種 WD，聚光透鏡流過的電流越大(激勵(lì)強(qiáng)，聚焦效果好)，樣品上的束斑就越小。

　　因此，當(dāng)WD較小、聚光透鏡激勵(lì)較高、光闌較小時(shí)，我們就能實(shí)現(xiàn)最小的束斑尺寸。這三個(gè)參數(shù)是相互影響的，需要仔細(xì)權(quán)衡，才能獲得最佳圖像，因?yàn)樗鼈冞�會(huì)影響其他參數(shù)，如焦距和電子信號(hào)強(qiáng)度。

　　1.4 工作距離(WD)：分辨率與景深

　　樣品工作距離 (WD) 是指SEM鏡筒極靴底部與樣品頂部之間的距離。在樣品室中，樣品臺(tái)可以上升到更靠近極靴的一端(工作距離短)，也可以下降到更低的位置(工作距離長(zhǎng))。

　　工作距離越短，樣品表面的電子束直徑就越小。因此，在可能的情況下，工作距離應(yīng)保持在10毫米或更小，以獲得高分辨率成像。但小工作距離的缺點(diǎn)是，會(huì)大大降低景深。雖然可以通過使用較小的物鏡光闌來抵消這種不利因素，但同時(shí)也帶來電子束流密度的降低(圖像看起來顆粒感更強(qiáng)，不夠細(xì)膩)。

　　備注：對(duì)于ET探測(cè)器來說，縮短WD帶來高分辨率的效果是不夠顯著的。對(duì)于大部分鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器，縮短WD能顯著提高分辨率。這也是我們經(jīng)�？吹�，高倍數(shù)的照片都是在短WD下拍攝的，極端情況下，WD可以<1mm。

　　在許多 SEM 中，外部工作距離 (Z) 控制桿可用于升高或降低試樣，該值通常被誤認(rèn)為是準(zhǔn)確的工作距離。然而，真正的工作距離 (WD)是以電子方式測(cè)量的，即樣品表面聚焦點(diǎn)到極靴下表面的距離。外部Z控制(機(jī)械控制)值與圖像屏幕上提供的 WD 值不同有三個(gè)原因。

　　只有當(dāng)電子束準(zhǔn)確聚焦到試樣表面時(shí)，"屏幕上"的 WD 值才是準(zhǔn)確的測(cè)量值。聚焦不足或聚焦過度的圖像會(huì)提供虛假的WD值以及模糊的圖像。

　　外部Z值和準(zhǔn)確聚焦試樣的真實(shí) WD 值會(huì)有所不同，因?yàn)檫@兩個(gè)測(cè)量值可能是從試樣架上的不同點(diǎn)測(cè)量的。試樣如果不是均勻平整的，不同的形貌特征會(huì)有不同的真實(shí)WD。

　　WD會(huì)影響SEM圖像的景深和分辨率。隨著WD的增加，電子束發(fā)散角會(huì)減小，從而提供更大的景深。增加WD的"代價(jià)"是，電子束必須從掃描移動(dòng)更遠(yuǎn)的距離，因此在試樣上的束斑尺寸更大。

　　景深是指試樣在肉眼看來可接受的聚焦垂直范圍。在SEM中，圖像景深的 "范圍 "通常比光學(xué)顯微鏡大上百倍，因此許多SEM顯微照片幾乎都是三維的。

　　1.5 圖像的襯度和亮度

　　SEM圖像是根據(jù)從樣品材料中射出的電子數(shù)來構(gòu)建的強(qiáng)度圖(數(shù)字或模擬)。SEM中每個(gè)駐留點(diǎn)的電子信號(hào)以像素的形式在屏幕上逐行顯示，從而形成圖像。每個(gè)點(diǎn)的信號(hào)強(qiáng)度反映了從形貌或成分中產(chǎn)生的電子多少。通過信號(hào)處理，每個(gè)電子的信號(hào)信息(從光束的每個(gè)駐留點(diǎn)獲得)都可以在顯示之前被轉(zhuǎn)換成與原始值有嚴(yán)格關(guān)系的新值。這樣，我們就可以通過調(diào)整信號(hào)來改變最終圖像的襯度和亮度。

　　在大多數(shù)情況下，未經(jīng)處理的圖像包含足夠的"自然襯度"，操作員可以從圖像中提取有用的信息。自然襯度可被視為直接來自樣品和探測(cè)器系統(tǒng)的信號(hào)中包含的襯度。如果自然襯度過低或過高，則可能會(huì)丟失與重要細(xì)節(jié)相對(duì)應(yīng)的信號(hào)變化。

　　在這種情況下，我們會(huì)看到圖像中有很多黑色或白色區(qū)域。質(zhì)量好的圖像具有灰度漸變，只有極少部分是全黑或全白的。信號(hào)處理技術(shù)可以處理自然襯度，使眼睛可以通過圖像中的襯度感知信息。雖然信號(hào)處理技術(shù)允許用戶對(duì)自然襯度進(jìn)行處理，但并沒有增加信息，只是增強(qiáng)了已有的信息(因此，這種圖像處理技術(shù)不屬于對(duì)已有信息的篡改)。

　　以下這幅圖像左側(cè)襯度太低，右側(cè)襯度太高，中間的圖像襯度是合適的。左邊的圖像可以后期調(diào)整，方法是在Photoshop軟件中修改灰度 "色階"的分布，但右圖像無法修正，因?yàn)榧兒诎讌^(qū)域是絕對(duì)的(無法從這些區(qū)域獲取更多數(shù)據(jù))。

　　應(yīng)該注意的是，信號(hào)處理會(huì)極大地改變圖像的外觀，使其與通常預(yù)期的不同，因此SEM操作員有義務(wù)說明是否進(jìn)行了處理。不過，通常情況下，使用襯度和亮度旋鈕調(diào)整圖像質(zhì)量是被認(rèn)可的圖像處理流程。但是，如果為了使SEM圖像看起來更清晰而進(jìn)行了一些其他處理，則應(yīng)在正式報(bào)告中說明具體的處理的方式。

　　舊型號(hào)的SEM一般都需要手動(dòng)調(diào)整襯度和亮度。更現(xiàn)代的機(jī)器則依靠軟件程序自動(dòng)調(diào)節(jié)，輔以機(jī)器操作員的喜好：一鍵操作，提高工作效率。但需要注意的是，人眼對(duì)圖像襯度和亮度的感知或?qū)徝�，往往和軟件�?jì)算的結(jié)果并不一致，因?yàn)闉榱烁�好的圖片質(zhì)感，還需要依賴手動(dòng)調(diào)節(jié)。

　　傾斜樣品可以增加SE襯度：增加SE襯度的另一種方法是傾斜樣品，使其與探頭成一定角度(通常為 30° 至 60°)。傾斜的結(jié)果是，每單位投影試樣面積會(huì)產(chǎn)生更多的 SE，從而使亮部和暗部的分布更加明顯，從而增強(qiáng)襯度。

　　1.6 放大和校準(zhǔn)

　　放大是指放大圖像或圖像的一部分。在SEM中，放大是通過掃描較小的區(qū)域來實(shí)現(xiàn)的。在圖像中，樣品上的電子束用箭頭表示。

　　當(dāng)掃描到一個(gè)較小的區(qū)域時(shí)，我們看到的是物體變大了。以下的顯微圖像的放大倍數(shù)從 900倍到 10000 倍不等。

　　圖像的放大倍數(shù)通常會(huì)在屏幕上給出一個(gè)數(shù)值(如2000x)。圖像上還會(huì)有一個(gè)刻度條，代表精確的距離單位。

　　在掃描電鏡中，通常涉及到兩個(gè)倍數(shù)，一個(gè)是底片倍數(shù)，一個(gè)是顯示倍數(shù)。底片倍數(shù)，指掃描電鏡獲取圖像時(shí)，實(shí)際拍攝到5英寸底片上的放大倍數(shù)。顯示倍數(shù)是指在顯示器上顯示的放大倍數(shù)。初學(xué)者搞不清楚底片倍數(shù)和顯示倍數(shù)的區(qū)別，同樣的細(xì)節(jié)長(zhǎng)度，顯示倍數(shù)通常會(huì)比底片倍數(shù)高2-3倍，因此，衡量物體尺寸的大小看標(biāo)尺刻度，而不是放大倍數(shù)。

　　SEM的基本維護(hù)包括定期檢查放大倍率的校準(zhǔn)。在標(biāo)準(zhǔn)條件下對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(如光柵網(wǎng)格)進(jìn)行成像。對(duì)圖像上的特征進(jìn)行測(cè)量，并與給定的放大倍率或刻度條進(jìn)行比較，以確保達(dá)到正確的尺寸。如果不正確，可以遵循校準(zhǔn)程序。

　　在標(biāo)準(zhǔn)條件下，屏幕上顯示的放大倍數(shù)可能包含2-5%的誤差。在許多情況下，這種不確定性是可以接受的。但是，如果所做的工作需要很高的精確度(尤其是半導(dǎo)體行業(yè)的精確測(cè)量)，則必須使用與實(shí)驗(yàn)條件完全相同的條件和校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)來校準(zhǔn)系統(tǒng)，校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的特征應(yīng)與您希望在實(shí)驗(yàn)中測(cè)量的特征的尺寸密切匹配。例如，如果需要測(cè)量直徑為 500nm 的顆粒大小，校準(zhǔn)樣品應(yīng)包含相同大小的特征。

　　1.7 掃描速率和信噪比

　　如果需要采集高質(zhì)量的圖像，以供日后使用或出版時(shí)，通常會(huì)降低掃描速率。較慢的掃描速率可以在電子束掃描線上的每個(gè)像素點(diǎn)收集到更多的電子。這樣可以生成質(zhì)量更好的圖像。

　　SEM的圖像質(zhì)量受束斑大小和信噪比的限制。信噪比是電子束產(chǎn)生的信號(hào)(S)與儀器電子設(shè)備在顯示該信號(hào)時(shí)產(chǎn)生的噪聲(N)之比(S/N)。噪聲脈沖來源于電子束亮度、聚光透鏡設(shè)置(束斑尺寸)和 SE 探測(cè)器靈敏度，可能會(huì)給圖像帶來類似顆粒感。當(dāng)SEM參數(shù)設(shè)置為高分辨率成像時(shí)，其信噪比通常較低，因此會(huì)出現(xiàn)顆粒感，這可能是不可避免的。隨著每個(gè)圖像點(diǎn)記錄的電子總數(shù)的增加，SEM的圖像質(zhì)量和信噪比也會(huì)隨之提高。

　　鎢(W)燈絲的特點(diǎn)是亮度低，導(dǎo)致成像的電子束流密度低。因此，在聚光透鏡設(shè)置為高分辨率成像時(shí)(小束斑尺寸)，到達(dá)試樣的電子數(shù)量較少。因此，SE 產(chǎn)量低，為了生成高質(zhì)量的圖像，必須使用大束流，這就彌補(bǔ)了信噪比的不足，但同時(shí)也帶來了分辨率的下降。為了克服 W 燈絲的亮度限制并提高信噪比，人們開發(fā)了場(chǎng)發(fā)射槍 (FEG) 等明亮相干光源。

　　1.8 圖像的假象：像散/邊緣效應(yīng)/充電效應(yīng)/電子束損傷和污染

　　要獲得完美的圖像，需要基礎(chǔ)理論知識(shí)和實(shí)踐，并且需要在許多因素之間進(jìn)行權(quán)衡。這個(gè)過程可能會(huì)遇到一些棘手的問題。

　　像散

　　像散是圖像中最難精確校正的調(diào)整之一，需要多加練習(xí)。下圖中間的圖像是經(jīng)過像散校正的正確聚焦圖像。左圖和右圖是像散校正不佳的例子，表現(xiàn)為圖像出現(xiàn)拉伸的條紋。

　　為實(shí)現(xiàn)精確成像，電子束(探針)到達(dá)試樣時(shí)的橫截面應(yīng)為圓形。探針的橫截面可能會(huì)扭曲，形成橢圓形。這是由一系列因素造成的，如加工精度和磁極片的材料、鐵磁體鑄造中的缺陷或銅繞組。這種變形稱為像散，會(huì)導(dǎo)致聚焦困難。

　　嚴(yán)重的像散可表現(xiàn)為圖像中X方向的"條紋"，當(dāng)圖像從對(duì)焦不足到對(duì)焦過度時(shí)，條紋會(huì)轉(zhuǎn)變?yōu)?Y 方向。在精確對(duì)焦時(shí)，條紋會(huì)消失，如果束斑大小合適，就能正確對(duì)焦。

　　為了使探針呈圓形，需要使用像散校正器。這包括以四邊形、六邊形或八邊形方向放置在鏡筒周圍的電磁線圈。這些線圈可以調(diào)整電子束的形狀，并可用于校正任何重大的透鏡變形。

　　在放大 10,000 倍左右的情況下，將物鏡調(diào)整到欠焦或過焦時(shí)，如果圖像在一個(gè)方向或另一個(gè)方向上沒有條紋，則一般認(rèn)為圖像沒有像散。在1000倍以下的圖像中，像散通�？梢院雎圆挥�(jì)。

　　校正像散的最佳方法是將X和Y像散器設(shè)置為零偏移(即不進(jìn)行像散校正)，然后盡可能精細(xì)地對(duì)焦樣品。然后調(diào)整X 或Y消像散器控制(不能同時(shí)調(diào)整)以獲得最佳圖像，并重新對(duì)焦。

　　邊緣效應(yīng)

　　邊緣效應(yīng)是由于試樣邊緣的電子發(fā)射增強(qiáng)所致。邊緣效應(yīng)是由于形貌對(duì)二次電子產(chǎn)生的影響造成的，也是二次電子探測(cè)器產(chǎn)生圖像輪廓的原因。電子優(yōu)先流向邊緣和峰頂，并從邊緣和峰頂發(fā)射，被探測(cè)器遮擋的區(qū)域，如凹陷處，信號(hào)強(qiáng)度較低。樣品朝向探測(cè)器區(qū)域發(fā)射的背向散射電子也會(huì)增強(qiáng)形貌襯度。降低加速電壓可以減少邊緣效應(yīng)。

　　充電效應(yīng)

　　電子在樣品中聚集并不受控制地放電會(huì)產(chǎn)生充電現(xiàn)象，這會(huì)產(chǎn)生不必要的假象，尤其是在二次電子圖像中。當(dāng)入射電子數(shù)大于從樣品中逸出的電子數(shù)時(shí)，電子束擊中樣品的位置就會(huì)產(chǎn)生負(fù)電荷。這種現(xiàn)象被稱為"充電Charging"，會(huì)導(dǎo)致一系列異常效果，如襯度異常、圖像變形和偏移。有時(shí)，帶電區(qū)域的電子突然放電會(huì)導(dǎo)致屏幕上出現(xiàn)明亮的閃光，這樣就無法捕捉到襯度均勻的樣品圖像，甚至?xí)��?dǎo)致小樣品從樣品臺(tái)上脫落。

　　充電效應(yīng)的程度與 (1) 電子的能量和 (2) 電子的數(shù)量有關(guān)。電子的能量與加速電壓有關(guān)，因此降低加速電壓可以減少充電。電子的數(shù)量與許多參數(shù)有關(guān)，包括束流、電子槍的種類、束斑大小以及電子槍和試樣之間的光闌。因此，通過調(diào)整這些參數(shù)來減少電子數(shù)也可以減少充電效應(yīng)。

　　要解決不導(dǎo)電樣品的充電問題，在樣品制備方法上是在樣品上鍍上一層較厚的金或鉑薄膜，這樣做是為了提高表面的導(dǎo)電性，使足夠的電子能夠逸出，避免表面充電和損壞。顆粒等松散材料經(jīng)常會(huì)受到充電的影響，在實(shí)際操作上，這些樣品都通過磁控濺射鍍膜儀來鍍上一層厚3-10nm的金屬層，實(shí)驗(yàn)室常見的鍍膜儀如下圖所示：

　　過去三十年，常規(guī)鍍膜儀多采用單靶噴金儀：Au靶熔點(diǎn)較低，金顆粒較大(約20nm，常規(guī)鍍膜參數(shù))，主要用于常規(guī)鎢燈絲電鏡;Pt靶熔點(diǎn)較高，白金顆粒較細(xì)(3-5nm，常規(guī)鍍膜參數(shù))，適用于場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。根據(jù)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，同等參數(shù)下，鍍金比鍍白金能更好的抑制充電效應(yīng)，但在納米尺度，金會(huì)掩蓋細(xì)節(jié)。速普的J20雙靶離子濺射儀采用了雙靶+疊層噴鍍的創(chuàng)新概念，將金(Au)和鉑(Pt)的優(yōu)勢(shì)相結(jié)合，通過多次形核，可進(jìn)一步減小噴鍍膜顆粒大小(30s pt+30s Au ，底片10萬倍，預(yù)估顆粒5nm左右)，并進(jìn)一步改善充電效應(yīng)。

　　此外，除了低加速電壓成像，具有低真空功能的SEM或環(huán)境SEM (ESEM) 可用于控制充電效應(yīng)。

　　用電子束輻照試樣會(huì)導(dǎo)致電子束能量以熱量的形式流失到試樣中。較高的加速電壓會(huì)導(dǎo)致輻照點(diǎn)的溫度升高，這可能會(huì)損壞(如熔化)聚合物或蛋白質(zhì)等易碎試樣，并蒸發(fā)蠟或其他試樣成分，同時(shí)也會(huì)污染鏡筒。

　　解決辦法是降低電子束能量，增加工作距離也有幫助，因?yàn)樵谙嗤�的電子束能量下，可以在樣品上產(chǎn)生更大的束斑，但這樣做的缺點(diǎn)是會(huì)降低分辨率。

　　與電子束相關(guān)的污染是指在電子束掃描過的樣品區(qū)域沉積材料(如碳)，這是電子束與真空室中的氣態(tài)分子(如碳?xì)浠�合�?相互作用的結(jié)果。

　　解決這種假象的方法之一是先用低倍放大鏡拍攝顯微照片，然后再用高倍放大鏡拍攝。在將樣品放入SEM腔室之前，確保樣品盡可能干凈，或者采用等離子清洗樣品，也可以減少這種假象。對(duì)于場(chǎng)發(fā)射電鏡而言，在處理樣品時(shí)通常需要戴上手套，以防止被手指油脂等污染。

　　總之，獲得滿意的SEM圖片需要綜合考慮樣品制備、儀器設(shè)置和圖像處理等方面的因素。在樣品制備過程中，需要選擇合適的樣品、清洗方法和干燥方法。在儀器參數(shù)設(shè)置過程中，需要選擇合適的加速電壓、工作距離和探測(cè)器類型等。在圖像處理過程中，需要選擇合適的圖像增強(qiáng)、信號(hào)過濾方法。此外，還要考慮像散/邊緣效應(yīng)/充電效應(yīng)/電子束損傷和污染的因素。

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